特種氣體的儲存注意事項:為防止高壓容器跌倒、滾落、損壞、閥門泄漏等造成安全隱患,存放場地需平坦,操作需謹慎、輕柔;并用鏈條、繩索等將其固定在靠墻等堅固位置。特種氣體的儲存注意事項:高壓容器內(nèi),存有內(nèi)容物時,無論內(nèi)容量多少,在該容器儲存場地2m內(nèi),嚴禁明火或放置燃、可燃物。場所的環(huán)境溫度≤40℃為佳。特種標準氣體嚴格意義上應(yīng)稱為標準校正氣體,是一種高度均勻,穩(wěn)定性良好和量值準確的氣體,它可以是單一的純氣體或高純氣體,也可以是由多組分氣體配制而成的混合氣體。標準氣體屬于標準物質(zhì)之一,故又稱為氣體標準物質(zhì)。
特種氣體在太陽能電池中的應(yīng)用:非晶硅太陽能 電池在 LPCVD 沉積 TCO 工序用到 DEZn、B2H6;非晶/微晶硅沉積工序用到 SiH4、PH3/H2、 TMB/H2、CH4、NF3 等。特種氣體種類:廣義的“電子氣體”指可用于電子工業(yè)生產(chǎn)中使用的氣體,是重要原材料之一, 狹義的“電子氣體”特指可用于電子半導(dǎo)體領(lǐng)域生產(chǎn)的特種氣體。特種氣體種類:電子氣體可以分為電 子特種氣體和電子大宗氣體。電子氣體在電子產(chǎn)品制程工藝中廣泛應(yīng)用于離子注入、刻 蝕、氣相沉積、摻雜等工藝,被稱為集成電路、液晶面板、LED 及光伏等材料的“糧食” 和“源”。
特種氣體的儲存注意事項:儲存場地的道路,應(yīng)占整個場地面積的20%以上。充填容器和空容器需要明確區(qū)分存放。充填容器入庫前需檢漏,長期存放的充填高壓容器需要每月復(fù)檢一次,并做記錄。特種氣體分類:電子氣體是指用于半 導(dǎo)體及其它電子產(chǎn)品生產(chǎn)的氣體,目前,我國電子氣體品種基本齊全,但數(shù)量和質(zhì)量與 發(fā)達國家相比,尚有較大差距;特種氣體分類:高純氣體通常指利用現(xiàn)代提純技術(shù)能達到的某個等級純 度的氣體,對于不同類別的氣體,純度指標不同,大多用于超大規(guī)模集成電路及分離器 件、光電子等高科技領(lǐng)域;